1.轉(zhuǎn)子
　　
　　BF35導(dǎo)讀：轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵體內(nèi)并與泵體內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個（或兩個以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵體內(nèi)壁始終接觸，此時旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。轉(zhuǎn)子是旋片泵的核心部件，轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)有三種形式：整體式、壓套式和轉(zhuǎn)子盤式。其中，整體式結(jié)構(gòu)加工件和裝配量少，但旋片槽加工較困難，難以達(dá)到高精度，較適于大泵;壓套式結(jié)構(gòu)，兩半轉(zhuǎn)子中間用襯塊保證旋片槽寬度，加工精度要求高，裝配復(fù)雜;轉(zhuǎn)子盤式結(jié)構(gòu)，兩半轉(zhuǎn)子盤用螺釘和錐銷緊固后，兩轉(zhuǎn)子體之間形成旋片槽，這種結(jié)構(gòu)零件多，加工裝配量大，有較高的加工精度。
　　
　　2.旋片
　　
　　旋片與泵體之間構(gòu)成了泵的工作容積，旋片是鑲嵌在轉(zhuǎn)子的徑向槽里，可以自由滑動，當(dāng)電機(jī)帶動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，旋片在離心力和旋片底部彈簧力的雙重作用下向外伸出，其頂部緊貼在泵體內(nèi)表面上。因此，旋片要有一定的強(qiáng)度和耐磨性。旋片材料一般采用鑄鐵、石墨、高分子復(fù)合材料等，直聯(lián)泵多采用高分子復(fù)合材料做旋片。
　　
　　3.泵體
　　
　　旋片式真空泵的泵體既是整個泵的外殼，實(shí)現(xiàn)泵內(nèi)和泵外空間的分離，又在轉(zhuǎn)子四周形成一個截面積逐步擴(kuò)大或縮小的對稱通道，形成一圓柱形空腔，圓柱形空腔的一側(cè)安裝有進(jìn)氣管道，圓柱形空腔上沿泵頂縱軸線位置設(shè)有排氣口，排氣口上安裝有排氣閥門，它的吸入口與真空容器或真空設(shè)備連接，在運(yùn)轉(zhuǎn)時容器內(nèi)的氣體將大量吸人與排出。通常由灰口鑄鐵HT250或球墨鑄鐵鑄造制成，也有采用鑄鋼材料焊接制成，還有采用有機(jī)合成材料制成的，泵體是采用銑削成型后，再通過數(shù)控磨削進(jìn)行加工。由于轉(zhuǎn)子與旋片、旋片與泵腔之間滑動接觸，磨損較大，消耗功率也較大，為防止長時間摩擦產(chǎn)生大量的熱量造成泵體變形，旋片泵采用了自然冷卻和水冷卻兩種冷卻方式。
　　
　　泵體是旋片式真空泵的主體，其結(jié)構(gòu)有三種形式，即整體式、中壁壓入式和組合式。其中，整體式結(jié)構(gòu)要求加工精度高，高低真空級兩腔同心度不易保證;中壁壓入式結(jié)構(gòu)高低真空腔為一整體，中壁有壓力機(jī)壓入或經(jīng)冷卻后裝入兩種方式，其結(jié)構(gòu)簡單、加工和裝配量小，但中壁尺寸公差要求嚴(yán)格;組合式結(jié)構(gòu)各零件易于加工，廢品率低、互換性好，適于大批量生產(chǎn)，但加工面多，要求精度高。為保證泵腔內(nèi)以及泵軸頭密封處的潤滑，泵體上開有的油路。
　　
　　4.排氣閥
　　
　　排氣閥是旋片泵主要易損件之一，將影響泵的抽氣性能并產(chǎn)生噪聲。排氣閥有兩種形式：一種是用橡膠墊做閥片;另一種是用布質(zhì)酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片。排氣閥必須浸在泵油中。在排氣過程中，壓縮氣體推開排氣閥片，穿過泵油后排出，泵油起到密封作用。在雙級泵中，當(dāng)高真空級腔與低真空級腔不等時，需要在兩級之間設(shè)置輔助排氣閥。輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經(jīng)高真空級腔壓縮的氣體已經(jīng)達(dá)到排氣壓力時，輔助排氣閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥排氣量逐漸減小，直至zui后關(guān)閉。
　　
　　氣鎮(zhèn)閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設(shè)置的。通常，泵抽除的氣體為*性氣體和可凝性氣體的混合物。在壓縮和排氣的過程中，當(dāng)可凝性氣體的分壓超過泵溫對應(yīng)的該氣體飽和蒸氣壓時，可凝性氣體會凝結(jié)并混于泵油中，隨泵油循環(huán)，并在返回高真空側(cè)時重新蒸發(fā)成蒸氣。這會影響泵的抽氣性能，加重泵油的污染程度。
　　
　　氣鎮(zhèn)法或稱摻氣法可以有效地防止可凝性氣體的凝結(jié)，即在壓縮過程中將經(jīng)過控制的*性氣體（通常為室溫干燥空氣）由氣鎮(zhèn)孔摻入被壓縮氣體中，使可凝性氣體分壓未達(dá)到泵溫對應(yīng)的飽和蒸汽壓力之前，壓縮氣體的壓力已經(jīng)達(dá)到排氣壓力，排氣閥打開，可凝性氣體同*氣體一同被排出。油封式機(jī)械真空泵普遍裝有氣鎮(zhèn)裝置，因此也叫氣鎮(zhèn)泵。氣鎮(zhèn)閥（摻氣閥）由節(jié)流閥和逆止閥兩部分組成。節(jié)流閥控制摻人氣體量，逆止閥防止泵腔內(nèi)氣體壓力高于摻氣壓力時出現(xiàn)返流。
　　
　　氣鎮(zhèn)孔位置的設(shè)置一般有兩種：一種是在泵排氣口附近，當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時，開始摻氣;另一種是設(shè)置于端蓋上，當(dāng)吸氣終了以后，轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)過一個角度（100～150）時，露出氣鎮(zhèn)孔，開始摻氣。在摻氣過程中，泵的極限壓力會上升，抽氣速率會下降。在低壓時，適當(dāng)打開氣鎮(zhèn)閥，摻入少量氣體，可以減少泵油沖擊排氣閥引起的噪聲。高速直聯(lián)泵在高的泵溫（90℃～100℃）下運(yùn)行，有利于可凝性氣體的抽出。為了防止泵噴油、返油，改善泵的潤滑條件，擴(kuò)大泵的使用范圍，旋片泵還配有多種附件，如油霧捕集器、分子過濾器、塵粒過濾器、化學(xué)過濾器、油過濾器等。隨著技術(shù)進(jìn)步和工藝要求的提高，旋片泵的結(jié)構(gòu)更趨完善，性能不斷提高。