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行業(yè)產(chǎn)品

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上海華械自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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5410系列質(zhì)量流量計(jì)-金屬密封

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)5410

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：須工查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2020-04-16 16:09:44瀏覽次數(shù)：388次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：須工 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用

詳細(xì)介紹


5410質(zhì)量流量計(jì)

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM)

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.2%FS

響應(yīng)時(shí)間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進(jìn)口大壓力

O.5Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號(hào)

0-5V輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；

管路連接

標(biāo)配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約800g

使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。


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