專業(yè)質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器研發(fā)廠家-堀場匯博隆（HORIBAMETRON）
產(chǎn)品適用于各種氣體，精度高，零漂小，無需矯正可任意角度安裝。
公司：
公司：www.horibametron.com

本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應(yīng)氣流瞬時流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

1.1 使用范圍

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。

1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計

 質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。

質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。

1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點

☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強，易于組網(wǎng)。配合上位機，可進行各種復(fù)雜的計量、控制操作及組態(tài)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

☆可任意角度安裝。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。

S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標