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QDP系列日本TAIKO無油螺桿真空泵

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  • 上海槐森機(jī)械配件有限公司
  • 2017-09-25 19:07:23
  • 蘇州市
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【簡單介紹】

雙螺桿真空泵,可以使用在嚴(yán)苛的產(chǎn)業(yè)!

【詳細(xì)說明】

 

大晃開發(fā)的*形狀的螺桿(),它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣,真空度可達(dá)到10-1Pa,它可稱為是劃時代的干式真空泵。 單級結(jié)構(gòu)簡單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
    排気速度 : 1000~78000 L/min  
    到達(dá)真空度 : 10-1  Pa
    口   徑 : Φ40~ Φ200 mm
    
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