產(chǎn)品展示
1/4BA氣瓶架(Rack)
【簡(jiǎn)單介紹】
產(chǎn)品別名 RACK,氣瓶架 用途 O2,Ar,N2,CF4,He等供應(yīng)
適用行業(yè) 半導(dǎo)體,太陽(yáng)能電池,微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。
【詳細(xì)說明】
特氣柜(Gas Cabinet),氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣瓶架(Rack)、閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),
主要應(yīng)用于:半導(dǎo)體,太陽(yáng)能電池,微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。
主用用于為PECVD,MOCVD等設(shè)備提供潔凈,安全的氣體。
有單瓶柜,雙瓶柜,控制有全自動(dòng),半自動(dòng),手動(dòng)型
內(nèi)部管路采用韓國(guó)TK生產(chǎn)的BA/EP級(jí)潔凈VCR接頭,閥門,具有美觀,緊湊,安全,質(zhì)優(yōu)價(jià)廉等特點(diǎn);國(guó)內(nèi)備有大量庫(kù)存。
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