微型執(zhí)行器不銹鋼304電動二通閥AC220v微執(zhí)行器是現(xiàn)代自動控制技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)。近年來，隨著微電子技術(shù)和微細(xì)加工工藝的快速發(fā)展，特別是微納米技術(shù)的蓬勃興起，為微執(zhí)行器的開研究提供了有力的技術(shù)支持。本書共分9章，系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達(dá)、光學(xué)執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機(jī)械執(zhí)行器和化學(xué)執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎(chǔ)、制造工藝和應(yīng)用實(shí)例。

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微執(zhí)行器是現(xiàn)代自動控制技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)。近年來，隨著微電子技術(shù)和微細(xì)加工工藝的快速發(fā)展，特別是微納米技術(shù)的蓬勃興起，為微執(zhí)行器的開研究提供了有力的技術(shù)支持。本書共分9章，系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達(dá)、光學(xué)執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機(jī)械執(zhí)行器和化學(xué)執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎(chǔ)、制造工藝和應(yīng)用實(shí)例。微執(zhí)行器是現(xiàn)代自動控制技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)。近年來，隨著微電子技術(shù)和微細(xì)加工工藝的快速發(fā)展，特別是微納米技術(shù)的蓬勃興起，為微執(zhí)行器的開研究提供了有力的技術(shù)支持。本書共分9章，系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達(dá)、光學(xué)執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機(jī)械執(zhí)行器和化學(xué)執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎(chǔ)、制造工藝和應(yīng)用實(shí)例。微執(zhí)行器是現(xiàn)代自動控制技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)。近年來，隨著微電子技術(shù)和微細(xì)加工工藝的快速發(fā)展，特別是微納米技術(shù)的蓬勃興起，為微執(zhí)行器的開研究提供了有力的技術(shù)支持。本書共分9章，系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達(dá)、光學(xué)執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機(jī)械執(zhí)行器和化學(xué)執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎(chǔ)、制造工藝和應(yīng)用實(shí)例。

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